版主:黑木崖
    
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能代替AMSL的极紫外光刻机吗
送交者: agree 2018月12月23日01:59:24 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话
回  答: 大突破!国产5nm刻蚀机通过验证,将用于台积电5nm芯片制造! 棋迷 于 2018-12-22 08:44:02
无内容
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  中微的是蚀刻机,不是光刻机。  /无内容 - 老六路 12/23/18 (194)
    明白了,光刻机就是曝光,蚀刻是挖沟。 - agree 12/23/18 (208)
      细的线宽要用干刻,用等离子束来刻。  /无内容 - 老六路 12/23/18 (182)
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