版主:黑木崖
    
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中微的是蚀刻机,不是光刻机。
送交者: 老六路 2018月12月23日06:05:55 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话
回  答: 能代替AMSL的极紫外光刻机吗 agree 于 2018-12-23 01:59:24
无内容
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    细的线宽要用干刻,用等离子束来刻。  /无内容 - 老六路 12/23/18 (182)
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