版主:黑木崖
    
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明白了,光刻机就是曝光,蚀刻是挖沟。
送交者: agree 2018月12月23日08:14:23 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话
回  答: 中微的是蚀刻机,不是光刻机。 老六路 于 2018-12-23 06:05:55

我以前做LCD时的光刻机是日本货,产生平行光而已,不讲究波长。蚀刻就是简单的弱碱缓冲液

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  细的线宽要用干刻,用等离子束来刻。  /无内容 - 老六路 12/23/18 (181)
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