版主:黑木崖
    
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网上说华卓已经突破ASML的双工作台技术。
送交者: 老六路 2020月01月17日04:03:40 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话
回  答: 中国的光刻机还停留在248nm,twin scan 还没搞成 imhotep 于 2020-01-16 22:26:11
无内容
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  一次曝光,紫外光源的22nm,双激光的9nm。  /无内容 - 老六路 01/17/20 (361)
    更重要的是使用设备的工艺人才。  /无内容 - 老六路 01/17/20 (346)
    光刻机两大要件刚有,系统整合,还需时日。  /无内容 - 老六路 01/17/20 (364)
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