版主:黑木崖
    
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光刻机两大要件刚有,系统整合,还需时日。
送交者: 老六路 2020月01月17日04:17:38 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话
回  答: 一次曝光,紫外光源的22nm,双激光的9nm。 老六路 于 2020-01-17 04:13:32
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