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版主:黑木崖
    
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一次曝光,紫外光源的22nm,双激光的9nm。
送交者: 老六路 2020月01月17日04:13:32 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话
回  答: 网上说华卓已经突破ASML的双工作台技术。 老六路 于 2020-01-17 04:03:40
无内容
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  更重要的是使用设备的工艺人才。  /无内容 - 老六路 01/17/20 (129)
  光刻机两大要件刚有,系统整合,还需时日。  /无内容 - 老六路 01/17/20 (135)
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