一次曝光,紫外光源的22nm,双激光的9nm。 |
送交者: 老六路 2020月01月17日04:13:32 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
回 答: 网上说华卓已经突破ASML的双工作台技术。 由 老六路 于 2020-01-17 04:03:40 |
无内容
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