版主:黑木崖
    
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但激光光源解决不了呀。euv空气都无法穿透,靠发射衰减厉害
送交者: 毕云涛 2025月03月16日15:43:30 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话
回  答: 神州和歼二十,从立项到成功化了近十年。光刻机按说应该中微立项 毕云涛 于 2025-03-16 15:40:35
无内容
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  光刻机腔体内是真空状态,防止晶片污染和EUV衰减。  /无内容 - 老六路 03/16/25 (227)
    玻璃无法穿透,真空也无法封闭。反射6次衰减到百分之一  /无内容 - 毕云涛 03/16/25 (218)
      晶圆放进仪器内,抽到真空,才开始光刻工作。  /无内容 - 老六路 03/16/25 (202)
        华为的EUV用LDP光源,比ASML用LPP强的多。  /无内容 - 老六路 03/16/25 (247)
      长春光电所能做出euv光源但功率够,阿斯麦也因为这个受制于美  /无内容 - 毕云涛 03/16/25 (246)
        长春做出光源出口阿斯麦,阿斯麦就能跳过美制裁,出口中euv了  /无内容 - 毕云涛 03/16/25 (206)
    还有,反射镜和光刻胶,那个必须先有光源,才能适配  /无内容 - 毕云涛 03/16/25 (202)
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