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光源应该在长春光电所立项。没有立项就没钱,没钱就没人干
送交者: 毕云涛 2025月03月16日15:46:14 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话
回  答: 但激光光源解决不了呀。euv空气都无法穿透,靠发射衰减厉害 毕云涛 于 2025-03-16 15:43:30
无内容
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  还有,反射镜和光刻胶,那个必须先有光源,才能适配  /无内容 - 毕云涛 03/16/25 (202)
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