光刻机腔体内是真空状态,防止晶片污染和EUV衰减。 |
送交者: 老六路 2025月03月16日16:10:25 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
回 答: 但激光光源解决不了呀。euv空气都无法穿透,靠发射衰减厉害 由 毕云涛 于 2025-03-16 15:43:30 |
无内容
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