版主:黑木崖
    
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光刻机腔体内是真空状态,防止晶片污染和EUV衰减。
送交者: 老六路 2025月03月16日16:10:25 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话
回  答: 但激光光源解决不了呀。euv空气都无法穿透,靠发射衰减厉害 毕云涛 于 2025-03-16 15:43:30
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  玻璃无法穿透,真空也无法封闭。反射6次衰减到百分之一  /无内容 - 毕云涛 03/16/25 (217)
    晶圆放进仪器内,抽到真空,才开始光刻工作。  /无内容 - 老六路 03/16/25 (202)
      华为的EUV用LDP光源,比ASML用LPP强的多。  /无内容 - 老六路 03/16/25 (246)
    长春光电所能做出euv光源但功率够,阿斯麦也因为这个受制于美  /无内容 - 毕云涛 03/16/25 (246)
      长春做出光源出口阿斯麦,阿斯麦就能跳过美制裁,出口中euv了  /无内容 - 毕云涛 03/16/25 (205)
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