版主:黑木崖
    
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晶圆放进仪器内,抽到真空,才开始光刻工作。
送交者: 老六路 2025月03月16日18:05:06 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话
回  答: 玻璃无法穿透,真空也无法封闭。反射6次衰减到百分之一 毕云涛 于 2025-03-16 16:27:37
无内容
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  华为的EUV用LDP光源,比ASML用LPP强的多。  /无内容 - 老六路 03/16/25 (247)
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