版主:黑木崖
    
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不一定要走ASML的老路,可考虑扫描针尖束光刻机。
送交者: 老六路 2023月07月08日13:49:04 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话
回  答: ASML高端货与中国大陆「绝缘」,那么国产光刻机到底争不争气? eastwest 于 2023-07-08 11:17:55
无内容
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  扫描针尖电子束光刻机SPL。  /无内容 - 老六路 07/08/23 (133)
      电子束需要高真空,于成本不利,无法批量生产 - kman 07/08/23 (139)
        EUV 13.5nm波长也需要在真空中传播,除了空气对光的干 - 老六路 07/08/23 (183)
          电子束如同喷墨打印机,光如同复印机 - liuqiuprince 07/08/23 (156)
            那还得看性价比,每台设备价钱,整个芯片生产流程中,曝光时间占 - 老六路 07/08/23 (127)
              甚至电子束不用扫描,参考相控阵雷达,做成电子源阵排列,一次打 - 老六路 07/08/23 (141)
                相控阵也是扫描,而且看利用恰恰就是干涉效应 - liuqiuprince 07/08/23 (128)
                而且这个电子源列阵还是通用的,控制电子源开关,靠的是两个坐标 - 老六路 07/08/23 (139)
                  说的比做的易,不要当真。  /无内容 - 老六路 07/08/23 (124)
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