| EUV 13.5nm波长也需要在真空中传播，除了空气对光的干 |
| 送交者: 老六路 2023月07月08日16:57:13 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
| 回 答: 电子束需要高真空，于成本不利，无法批量生产 由 kman 于 2023-07-08 15:58:15 |
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扰，空气中的气体分子也会对芯片做成污染。 |
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