| 电子束需要高真空，于成本不利，无法批量生产 |
| 送交者: kman 2023月07月08日15:58:15 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
| 回 答: 电子束的能量，口径，扫描完全可以用电磁控制，比光刻机的光学系 由 老六路 于 2023-07-08 14:26:22 |
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容易，电子束光刻机其实就是金属表面分析的扫描电子显微镜的升级加强版。 |
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