| 電子束需要高真空，於成本不利，無法批量生產 |
| 送交者: kman 2023月07月08日15:58:15 於 [世界軍事論壇] 發送悄悄話 |
| 回 答: 電子束的能量，口徑，掃描完全可以用電磁控制，比光刻機的光學系 由 老六路 於 2023-07-08 14:26:22 |
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容易，電子束光刻機其實就是金屬表面分析的掃描電子顯微鏡的升級加強版。 |
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