电子束的能量,口径,扫描完全可以用电磁控制,比光刻机的光学系 |
送交者: 老六路 2023月07月08日14:26:22 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
回 答: 扫描针尖电子束光刻机SPL。 由 老六路 于 2023-07-08 13:52:31 |
容易,电子束光刻机其实就是金属表面分析的扫描电子显微镜的升级加强版。 |
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