不多。许多播主或个媒体报道过。但真正来自官方的说法很模糊。其中一次在2023年底上海微电子的其中一个大股东、张江科学园区开发商上海张江集团在自己文宣里宣称上海微电子研制成功28纳米光刻机。但随后改成致力研制先进光刻机，有点耐人寻味。

可能情况有点像军事装备一样，开始搞战略隐蔽。不让美国知道中国在这方面的实际进步水平。