| 这东西比ASML简单有效，从环形电子加速器输出的就已经分成一 |
| 送交者: 老六路 2023月09月19日04:48:47 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
| 回 答: 中国光刻机技术颠覆ASML？深入解读清华大学SSMB-EUV技术 由 eastwest 于 2023-09-19 00:09:10 |
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一系列不同能量的电子束，再从不同能量的电子束激发出不同波长的EUV，根本连ASML复杂的反射镜或光栅也不用，要问一问真正的专家才知道。 |
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