叫俺这几盆凉水,给清醒过来。这个SSMB的玩意,当个科研工具,附加在已有的同步光源还行,单独为它建个200米大的同步光源,专为光刻机提供EUV的光源是不可能的。 |
送交者: albert他祖宗 2023月09月19日04:47:00 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
回 答: 中国光刻机技术颠覆ASML?深入解读清华大学SSMB-EUV技术 由 eastwest 于 2023-09-19 00:09:10 |
无内容
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