| 中国清华大学建了一个EUV光刻机厂（图） |
| 送交者: 2023年09月15日17:11:14 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
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功率可达一千瓦， 而ASML的EUV光可机500瓦都都达不到 https://www.toutiao.com/article/7278577508235133479/?log_from=58998090d84af_1694783189095 |
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