| 适于大规模生产的EUV光刻目前还没有 |
| 送交者: redredred 2017月02月02日12:35:33 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
| 回 答: EUV极紫外光刻 由 redredred 于 2017-02-02 10:20:07 |
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大规模量产是必须的。 希望国产的表面等离子体超衍射光源足够强，足够稳定 |
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