| 為什麼一定要EUV光刻機，可不可以用電子束刻蝕？只要能量足夠 |
| 送交者: 老六路 2025月01月21日10:01:33 於 [世界軍事論壇] 發送悄悄話 |
| 回 答: 陸官宣EUV王炸了？光刻機大國沉默了 新聞大白話 20250120 由 oldfarmer 於 2025-01-21 00:51:52 |
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一樣可以做到同樣工作，電子顯微鏡分辨率遠比光學顯微鏡高，另外電子束聚焦和控制，用電場和磁場，也比光學系統簡單。 |
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