| 为什么一定要EUV光刻机，可不可以用电子束刻蚀？只要能量足够 |
| 送交者: 老六路 2025月01月21日10:01:33 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
| 回 答: 陸官宣EUV王炸了？光刻機大國沉默了 新聞大白話 20250120 由 oldfarmer 于 2025-01-21 00:51:52 |
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一样可以做到同样工作，电子显微镜分辨率远比光学显微镜高，另外电子束聚焦和控制，用电场和磁场，也比光学系统简单。 |
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