上海大学女教授张建华带领团队研制光刻机

新型显示是上海建设科创中心“22条”列出的重大产业创新战略项目之一，而OLED（有机发光二极管）是业界广泛看好的新一代显示屏幕，一些高端品牌手机已开始采用，具有响应速度快、高画质、可柔性等优势。我国在这一领域能否拥有自主知识产权，居于全球产业链的上层？同时获得青年科技杰出贡献奖、上海市科技进步奖一等奖的上海大学张建华教授，交出了一份出色答卷。这位曾爱哭鼻子的土家族女科学家，带领产学研协同创新团队研制出大面积高精细度平板显示光刻机，突破了日本技术垄断。

发明核心技术，分辨率世界第一

挺难想象，在这个男性工程师占绝对主流的行业，一名女性能成为领军人物。本科学化学、研究生阶段主攻润滑材料的张建华，在上海大学获得机械工程博士学位后，由于拥有化学、材料、机械交叉学科背景，被香港城市大学一位研究高密度电子封装的讲座教授看中。从那以后，她一头扎进了电子制造和半导体显示这一多学科交叉领域，先后赴中国香港、英国从事科研工作。

2003年末，张建华回到母校上海大学，参与筹建新型显示技术及应用集成教育部重点实验室，并得到上海市科技启明星、优秀学术带头人等人才计划的支持。从团队建设到设备招标，从技术研发到工程谈判，这位娇小的女子感到担子很重，也遇到过不少困难和委屈。“建华在我这里没少哭鼻子。”上海大学副校长汪敏教授坦言。不过张建华告诉记者：“我现在已经很少哭了，因为这个行业不相信眼泪，技术才是王道。”

她带队研发的技术有多牛？以她为第一完成人的“平板显示高精细度图案化工艺和装备关键技术开发及应用”项目，摘得上海市科技进步奖一等奖。据介绍，手机、平板电脑、电视机等电子产品的屏幕，其最基础的原材料是玻璃。而要把一大块玻璃变成一块块屏幕，需要成百上千道工序，其中，单台售价1亿元以上的高精细度平板显示光刻机是核心装备。张建华说，玻璃基板表面是不平的，制作过程中也会产生许多翘曲，而光刻机要在1平方米左右的基板上，光刻出微米级宽度的线条。“其难度，相当于要在足球场上花几秒钟时间找到一颗大豆。”然而，她带队迎难而上，发明了自对准TFT（薄膜晶体管）专利技术，使曝光焦面与工作焦面（玻璃基板）能实时重合、自行对准。利用这种技术，国产大面积平板显示光刻机的分辨率达到1.5微米，打破了原先由日本企业保持的世界纪录。

与企业紧密合作，引领行业发展

张建华的成功，不仅源于一流的技术创新能力，也源于她与产业界的紧密合作。“在工程学科、应用研究领域，高校科研人员不能‘自娱自乐’，而是要服务行业需求，引领行业发展。”汪敏讲的这句话，她一直记在心里。2008年，在市科委牵线下，这位女科学家选择与上海微电子装备公司合作，研制我国首台高分辨率平板显示光刻机及全套工艺。为了开展深度的产学研协同创新，张建华团队还与上微公司联合培养人才，先后将10多名在读研究生输送到企业实践，并邀请企业工程师到上海大学的AMOLED（主动矩阵有机发光二极管面板）中试线上，进行实训。