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这个有战略意义:京产12英寸28纳米刻蚀机通过工艺“大考”
送交者: 也是明眼人 2014年09月11日23:25:31 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话


记者日前从北京电控了解到,由其下属企业北方微电子公司自主研发的12英寸28纳米等离子硅刻蚀机,已经全面通过工艺验证。我国集成电路高端装备进一步加快了追赶国际水平的脚步,技术水平已经从2003年的“20年差距”缩短到“只差3年”。

28纳米,相当于人体一根头发的万分之一粗细。生产一块手机使用的电子芯片,一般需要18种机器设备、累计400多道工序,而刻蚀机就是其中的重要设备之一。

去年年末,北方微电子公司自主研发的这款12英寸28纳米等离子硅刻蚀机,全面通过中芯国际生产线全流程工艺验证,并获得客户订单,标志着中国集成电路高端装备国产化取得新的突破。

在北方微电子公司突破28纳米刻蚀技术前,国际上也仅美国和日本各有一家企业能够提供满足28纳米生产线的成熟设备。长期以来,高端刻蚀设备一直是制约我国集成电路产业发展的瓶颈,因此,北方微电子将28纳米硅刻蚀设备推向市场,标志着我国在高端集成电路装备领域,第一次实现与主流生产线的需求同步。
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    大实话,不过,TSMC,SAMSUNG 只是应用方 - 关羽 09/12/14 (94)
        中芯国际现在能做28nm 的还是20nm的?  /无内容 - 关羽 09/13/14 (45)
          中芯国际用什么不不清楚, 好像不是28, 可能是N40  /无内容 - spiro 09/13/14 (33)
          我那三个填空分别是20, 16, 10  /无内容 - spiro 09/13/14 (29)
          我那三个填空分别是20, 16, 10  /无内容 - spiro 09/13/14 (37)
        主要是设备受美日出口限制,设备跟设备比差距确实更大。  /无内容 - 关羽 09/13/14 (31)
        主要是设备受美日出口限制,设备跟设备比差距确实更大。  /无内容 - 关羽 09/13/14 (32)
  终于等到这一天了。顶!  /无内容 - bright 09/12/14 (78)
  是蚀刻机,不是光刻机.  /无内容 - redredred 09/12/14 (115)
    “等离子”蚀刻机,28nm要用等离子了。  /无内容 - 无为 09/12/14 (108)
      光刻才是核心技术 - redredred 09/12/14 (236)
        半导体制造好像已经把光用到了极限,光好像都不大够用了  /无内容 - 老朽 09/12/14 (95)
          做得太小,半导体元件的可靠性是个大问题  /无内容 - redredred 09/12/14 (81)
      干法蚀刻,相对于湿蚀刻而言 - redredred 09/12/14 (199)
  台湾的呢? 前阵子多次提到台湾12 寸晶圆是啥?  /无内容 - haiwailaohua 09/12/14 (95)
    台湾用外国的光刻设备 - sjtu 09/12/14 (122)
      正确地说,台湾半导体生产中打磨拍照刻蚀检验100%用外国货  /无内容 - 老朽 09/12/14 (89)
  顶!  /无内容 - 诛文丑 09/12/14 (87)
  顶!  /无内容 - oldfarmer 09/12/14 (82)
  顶!  /无内容 - cera 09/11/14 (78)
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