版主:黑木崖
    
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“等离子”蚀刻机,28nm要用等离子了。
送交者: 无为 2014月09月12日04:54:43 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话
回  答: 是蚀刻机,不是光刻机. redredred 于 2014-09-12 04:21:47
无内容
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  光刻才是核心技术 - redredred 09/12/14 (670)
    半导体制造好像已经把光用到了极限,光好像都不大够用了  /无内容 - 老朽 09/12/14 (444)
      做得太小,半导体元件的可靠性是个大问题  /无内容 - redredred 09/12/14 (401)
  干法蚀刻,相对于湿蚀刻而言 - redredred 09/12/14 (523)
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