版主:黑木崖
    
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是蚀刻机,不是光刻机.
送交者: redredred 2014月09月12日04:21:47 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话
回  答: 这个有战略意义:京产12英寸28纳米刻蚀机通过工艺“大考” 也是明眼人 于 2014-09-11 23:25:31
无内容
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  “等离子”蚀刻机,28nm要用等离子了。  /无内容 - 无为 09/12/14 (423)
    光刻才是核心技术 - redredred 09/12/14 (670)
      半导体制造好像已经把光用到了极限,光好像都不大够用了  /无内容 - 老朽 09/12/14 (444)
        做得太小,半导体元件的可靠性是个大问题  /无内容 - redredred 09/12/14 (401)
    干法蚀刻,相对于湿蚀刻而言 - redredred 09/12/14 (523)
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