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前不久,工业和信息化部发布了《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024 年版)》的公告,其中两款国产光刻机——氟化氪(KrF)与氟化氩(ArF)光刻机的亮相,尤为引人注目。前者分辨率≤110nm,套刻≤25nm;后者分辨率≤65nm,套刻≤8nm。按照公布的技术参数,说明国产光刻机已经具有制造28奈米甚至更先进制程芯片的能力。这一成就,标志着“工业皇冠上的明珠”——光刻机技术,再次被中国力量所突破,更为即将到来的国庆佳节增添了一抹亮丽的科技色彩。
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然而,在全国人民欢欣鼓舞之际,却传来一阵阵抹杀、贬低国产光刻机的杂音!有些人跪久了,跪着舒服,习惯了仰望,却忘记了自己站立的力量。比如,上午在观察者网上所见的《国产光刻机水平不宜高估,警惕芯片业的速胜论》一文,看了标题就觉得不是个味道!什么叫不要高估国产光刻机的水平?谁高估了?中国人清醒着呢,他们只是为国家取得的伟大进步而高兴而欢呼,不可以吗?最讨厌有些人在我们未取得成果时冷言冷语,声称“给你图纸你也造不出”,而当真正展现出成果时,非但不给予应有的肯定和鼓励,还对国家的显著进步视而不见,昧着良心批评其“落后”、“糟糕”,劝诫大家“别自嗨了”。这种态度不禁让人质疑他们的真实立场。无论他们如何伪装成公正的模样,都无法掩盖立场偏颇、偏见满溢的事实。
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光刻机作为半导体产业的核心设备之一,在全球科技竞争日益激烈的当下,其战略地位不言而喻。然而,长期以来,美国等西方国家凭借着在光刻机领域的技术优势,对我国实施了一系列禁售措施,试图遏制我国芯片产业的发展。在如此严峻的困境下,经过几代人的拼搏努力,国产光刻机终于横空出世,犹如破晓的第一缕阳光,照亮了我国半导体产业的自主发展之路。中国光刻机从一片空白到零的突破,这一跨越不仅是技术领域的壮举,更是国家意志与民族精神的集中体现,它的历史意义和现实意义远超技术层面,怎么赞誉与论述都不过分:
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第一、国产光刻机的问世,尽管尚处于初级阶段,但并不妨碍它的里程碑意义。有了这第一台国产光刻机,帮助国家实现从无到有的跨越。我们可以不再完全依赖外部供应,为后续的技术升级和产业拓展奠定了坚实基础。更重要的是,这一伟大突破,向世界传递出一个强烈信号:中国不会在关键技术上永远受制于人,我们将通过不懈努力,逐步缩小与国际先进水平的差距,最终实现后来居上的超越。反观荷兰的阿斯麦光刻机,精密零部件超过10万多个,90%来自40多个国家的5000多家供应商。比如镜头是德国蔡司的,特殊复合材料是日本的,精密机床是瑞典的,控制软件跟光源是美国的,但中国光刻机是纯中国血统,就像空间站、原子弹、盾构机等国之重器一样,我们是凭一己之力单挑“联合国军”。攻克了光刻机这个0到1的高峰,后面的2、3、4......还会远吗?
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第二、国产光刻机的问世,是对美西方国家禁售策略的直接回应,它重塑了市场战略格局,引入了新的平衡力量。我们凭借中低档光刻机产品的推出,不仅有效满足了国内市场的迫切需求,还能够在一定程度上冲击国际市场的低端领域。这种“你断我高档产品,我断你低端市场”的策略,让美西方国家再采取制裁措施时,不得不要三思而后行,因为一旦他们失去了中国这个庞大的市场,将对其自身利益造成重大损失。中国人历来有“装备一代、研发一代、预研一代”的传统,此次曝光出来的光刻机,仅仅是冰山一角,肯定不是中国最先进的,更先进的技术正在蓄势待发。之前华为Mate60 Pro的麒麟9000s芯片,以及如今Pura70的麒麟9010芯片,均采用的是7nm制程,完全由中国自主生产制造。因此,国产光刻机的问世,无疑让美西方国家倍感挫败和沮丧,而对于高度依赖中国市场、近半数收入源自中国的荷兰阿斯麦公司,更是一次震撼性的市场冲击,宣告世界半导体行业格局的深刻变革即将到来。
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第三、国产光刻机的问世,不仅是对现有技术的突破,更是对我国半导体产业升级的强大推动力。随着技术的不断成熟和市场的不断扩大,国产光刻机将逐步向更高档次迈进,推动我国芯片产业向更高水平发展。同时,它也将带动整个产业链上下游的协同发展,形成更加完善的产业生态体系,为我国半导体产业的长期可持续发展奠定坚实基础。
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第四、国产光刻机的问世,还将极大地提升我国在全球科技领域的话语权和影响力。它将向世界展示我国在科技创新方面的实力和成就,为我国在国际舞台上争取更多的话语权和主动权。同时,它也将促进国际科技合作与交流,推动全球半导体产业的共同繁荣与发展。
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展望未来,国产光刻机的发展前景广阔。随着技术的不断积累和市场的持续拓展,我们有理由相信,国产光刻机将逐步向高端领域迈进,未来必将遥遥领先世界,与我们的新能源汽车、高铁、大飞机、盾构机、太空空间站、核武器等高科技一起,共同构筑起我国科技实力的重要支撑,引领半导体产业实现跨越式飞跃,为我国乃至全球半导体产业的繁荣与发展贡献中国力量。