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中国首台2.5D/3D先进封装光刻机发运
送交者:  2022年02月08日06:38:10 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话

中国首台2.5D/3D先进封装光刻机发运

2022年02月08日 09:25 来源:澎湃新闻参与互动参与互动

  2月7日,上海微电子装备集团举行中国首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式。

  澎湃新闻(www.thepaper.cn)记者从该公司所属的上海电气集团获悉,此次发运的首台2.5D/3D先进封装光刻机的各项技术指标均为行业同类产品的最高水平,可提升5G、AI、HPC、物联网等高性能运算芯片的系统性能。

  先进封装光刻机是上海微电子装备集团目前的主打产品,全球市场占有率连续多年排名第一。此次发运的产品是新一代的先进封装光刻机,主要应用于高端数据中心高性能计算(HPC)和高端AI芯片等高密度异构集成领域,可满足2.5D/3D超大芯片尺寸的先封装应用需求,代表了行业同类产品的最高水平。

  上海电气集团表示,2009年,首台先进封装光刻机产品问世;2013年,首台面向LED领域的步进光刻机交付;2015年,首台高分辨率平板显示光刻机交付;2016年,首台前道扫描光刻机交付。而2022年2月7日发运的首台2.5D/3D先进封装光刻机的各项技术指标均为行业同类产品的最高水平,可助力客户实现芯片效能最大化、封装后体积最小化,提升5G、AI、HPC、物联网等高性能运算芯片的系统性能。


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