KBBF是不能做光刻的 |
送交者: KBBF2 2017月02月02日20:31:53 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
回 答: 光刻机,写在半导体行业重大突变的前夕 由 eachus 于 2017-02-02 18:11:17 |
原因是功率上不去---任何固体材料在小于190nm都有一定不可忽略的吸收,KBBF也不例外。 要是穿透式透镜或者其他光学器件就会导致热透镜 KBBF是通过非线性折射率匹配来实现倍频,因为有较强烈的吸收,所以稳定效率很难超过1%,平均功率很难超过10mW. 现在KBBF实用的装置是3W355nm进去,2mW出来。 这效率和功率限制是固体器件的特有缺陷---我早在18年前在200nm和193nm就发现了,KBBF的发明人陈创天先生也非常认同这个结论。但是不能放弃研究。 当然做可调试验光源KBBF是很好的,做一做对美国禁运的PR也不错。 |
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