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版主:黑木崖
    
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干法蚀刻,相对于湿蚀刻而言
送交者: redredred 2014月09月12日05:13:27 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话
回  答: “等离子”蚀刻机,28nm要用等离子了。 无为 于 2014-09-12 04:54:43

不是光刻机


光刻机用紫外线等短波,引发光化学反应,不涉及等离子反应


干法蚀刻用等离子反应去除光刻之后所暴露的物质

结构尺寸主要由光刻决定

28纳米蚀刻机只是其工艺控制符合28纳米光刻的要求


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