| 虾尿骗点击 |
| 送交者: liuqiuprince 2023月02月17日22:24:39 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
| 回 答: DUV光刻機可以量產了，補齊雙工件台和平面光柵激光干涉儀，水平達到ASML，兩次光刻達14納米，三次達7納米，四次達5納米。 由 eastwest 于 2023-02-17 12:00:49 |
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国产光刻机行不行,完全可以直接塞进现有生产线进行量产测试,直到如今都没有干式光刻机被用于量产的报道,跟双功台无关,更何况中国还没有研制成功浸没式光刻机. |
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