版主:黑木崖
    
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这种项目只有央企可以承接,有稳定性和技术能力。
送交者: pipeline 2023月02月17日19:38:12 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话
回  答: DUV光刻機可以量產了,補齊雙工件台和平面光柵激光干涉儀,水平達到ASML,兩次光刻達14納米,三次達7納米,四次達5納米。 eastwest 于 2023-02-17 12:00:49
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