| ASML的ArF光刻机, 不是全国产 |
| 送交者: liuqiuprince 2022月05月19日21:38:40 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
| 回 答: 全国产14纳米流水线正在成形... 由 oldfarmer 于 2022-05-19 21:15:05 |
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国产ArF光刻机是90纳米工艺.去年底28纳米评审没通过, 应该是浸染润法还没过关, 据说年底出28纳米样机会再闯关. |
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