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给大国科普一哈,已经非常不容易了
送交者: liuqiuprince 2022月05月19日20:20:54 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话
回  答: 你真的明白什么叫半导体制造? liuqiuprince 于 2022-05-19 20:05:40

按光源来分的话,光刻机已经发展了五代。

第一代是采用波长为436纳米的g-line光源的光刻机,其制程工艺节点为800纳米-250纳米;

第二代采用波长为365纳米的i-line光源的光刻机,其制程工艺节点也是800纳米-250纳米;

第三代采用波长为248纳米的KrF光源的光刻机,其制程工艺节点为180纳米-130纳米;

第四代也就是波长为193纳米的ArF光源的光刻机,其制程工艺节点为130纳米-65纳米,45纳米-22纳米;

第五代也就是波长为13.5纳米的EUV光源的极紫外光刻机,其制程节点为22纳米-7纳米。

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