| 给你科普一下，凡是以分辨率为标题博人眼球的基本上可以忽略 |
| 送交者: imhotep 2021月07月14日17:28:48 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
| 回 答: 也不一定，注意文章中的单位都是国有研究所 由 益佰 于 2021-07-14 09:18:20 |
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光刻机只以光源波长为划分，从最开始的365nm, 到大约20年前的248成为主流，然后约15年前193nm,两年后的193wet,euv发展了很长，6,7年前才进入量产。 国内现在248光源稳定性还未解决，na与国外主流相比有较大差距，双工台（这是能够量化提高产能的关键技术）还处于实验阶段。 248什么水平？单次曝光分辨率90nm |
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