| 据说中国自主技术光刻机：1.紫外光源的22nm线 |
| 送交者: 老六路 2020月01月04日15:19:58 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
| 回 答: 没有先进光刻机，怎么都没办法吹太大 由 渔樵闲话 于 2020-01-04 07:59:37 |
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分辨率，2.双激光束的达到9nm线宽。不知是否属实，不过ASML肯卖多台EUV光刻机到中国，应该相差不远了，现在更需要的是7nm/5nm工艺的人才。 |
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