| 完全是两回事，光刻机的复杂程度远超蚀刻机 |
| 送交者: imhotep 2019月02月04日10:24:06 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
| 回 答: 跟荷兰人卖的光刻机是同样东西吗？谁能给我们这样看不懂的人科普 由 大牌 于 2019-02-04 09:10:20 |
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光刻机是半导体制程中精度要求最高，也是最复杂的设备，不论是对准还是曝光，都要求在极高速度下极精确完成才能满足现代大规模集成电路生产要求。 光刻机的价格也是最高，EUV tool 早就过亿美元。 日本曾经有尼康和佳能追赶过一段，现在基本已经放弃了。 光刻机技术不用说中国，就是美国也没能力赶上 |
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