中芯早就有沉浸式光刻机 |
送交者: redredred 2018月06月08日10:50:59 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
回 答: 武汉接收的浸没式光刻不算顶级,十多年前就用了 由 redredred 于 2018-06-08 10:40:26 |
用这同一款光刻机,台积电能做到7nm,三星能做到10nm,中芯国际目前只能做到28nm。 |
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