版主:黑木崖
    
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概念错误:母版很大,长宽数十厘米。光刻机将母版的图案缩小
送交者: redredred 2018月06月08日07:39:32 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话
回  答: 中微造蚀刻机,不是光刻机,光刻机是造母片,蚀刻机如冲晒相片。 wude 于 2018-06-08 06:22:01

在硅片上形成缩小的平面图案,图案整体长宽数厘米或数毫米,然后用蚀刻控制图形的深度。




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