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版主:黑木崖
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绕开EUV,中国芯片业押注一条"原子级"新赛道
送交者:  2026年07月12日09:01:09 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话

美国的芯片出口管制,本来是为了封锁中国进入先进制程的大门。但这扇门,或许并不是唯一的入口。

2026年7月,上海芯片初创公司远基维宣布,全球首条8英寸二维半导体中试生产线正式启用。这条线不依赖荷兰ASML的极紫外光刻机(EUV),却声称有望在2029年前实现相当于5纳米工艺水平的芯片制造。消息一出,在半导体行业引发广泛关注。

这不只是一家初创公司的技术宣言,更像是一个信号:在传统硅基工艺路线被封堵之际,中国正在加速探索一条完全不同的技术路径。

硅,已经快到头了

理解这件事的意义,首先要明白为什么"2D半导体"这个方向被全球芯片界视为下一代技术的核心候选之一。

几十年来,芯片性能的提升遵循摩尔定律,靠的是不断缩小晶体管尺寸。但这条路越走越难,物理极限正在逼近。传统硅材料制成的晶体管,一旦缩小到一定尺寸,量子隧穿效应就会让漏电失控,电路无法稳定工作。台积电和三星目前最先进的量产工艺已到达2纳米级别,每一步前进都要付出指数级增长的工程成本。

二维半导体材料提供了另一种可能。以二硫化钼(MoS₂)为代表的二维材料,厚度只有原子级别,通常仅为0.6到0.7纳米,远薄于任何硅基材料。由于厚度极薄,用其制成的晶体管在被缩小时,漏电问题大幅减少,理论上可以在更小尺寸下维持稳定性能。2025年6月,宾夕法尼亚州立大学领衔的研究团队宣布,全球首台完全由二维材料构成的CMOS计算机已被成功构建,结合了二硫化钼与二硒化钨两种材料。北京大学刘开辉团队也在二维材料晶体管研究领域取得重要突破,将可控制备精度推进到了近1纳米节点。

全球二维半导体材料市场2025年估值约24亿美元,预计到2034年将增长至78亿美元,年复合增长率超过14%。这不是一个边缘技术的小众赛道,而是半导体行业下一场主赛事的热身阶段。

绕开EUV,究竟意味着什么

远基维这条生产线真正引人关注的,是它试图绕过的东西:EUV光刻机。

EUV光刻是目前制造7纳米以下先进芯片的核心技术,全球唯一制造商是荷兰的ASML。由于美国的出口管制,中国企业自2019年前后一直被拒于EUV设备之外。中芯国际迄今最先进的量产工艺,仍停留在使用老一代DUV光刻机、依靠多重曝光技术勉强实现的约7纳米等效制程,效率低、成本高、良率受限。

二维半导体路线的逻辑,是从根本上改变规则,不是在同一条路上追赶,而是走一条对光刻精度要求不同的新路。由于二维材料本身的物理特性,部分研究人员认为,利用现有的DUV光刻设备,配合二维材料工艺,有可能实现超出传统硅基DUV极限的等效性能。

当然,这一判断目前仍处于验证阶段。远基维所说的"5纳米等效",具体指向何种评判标准,能否在功耗、性能、良率等核心指标上真正与台积电或三星的5纳米工艺相提并论,目前均无法独立核实。从实验室到量产,从样品到大规模工业制造,中间隔着材料均匀性、晶圆级良率、可靠性验证等一系列工程难题,这些挑战在硅基芯片领域花了数十年才逐步克服。

上海市科委官员在生产线启用仪式上的表态,暗示这条技术路线已获得政府层面的明确背书。在中国"科技自立自强"的政策框架下,二维半导体极有可能成为国家级重点投入方向。

这场围绕芯片技术的竞赛,正在开辟第二战场。胜负几何,尚待时间给出答案。


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