
美国商务部长霍华德·卢特尼克亲自出马,在多场高级别会议上向荷兰芯片设备巨头ASML的高层领导提出严正关切:一台顶级极紫外光刻(EUV)设备,可能已经绕过美国主导的出口管制,悄然流入中国。
这不是一场普通的贸易摩擦。这是一场围绕全球最先进半导体制造设备的主权博弈,直接刺穿了多年来西方芯片管控的核心假设。
一台设备,为何牵动整个半导体管控体系?
EUV光刻机不是普通的工业设备。ASML的这类机器体积堪比一辆校车,重约180吨,造价高达数亿美元,依靠激光轰击熔融锡液产生极紫外光,再通过精度堪称"变态"的反射镜系统,在硅片上刻印出肉眼根本看不见的芯片图案。
ASML是全球唯一的EUV光刻机制造商。台积电用它为英伟达和苹果生产高端处理器,三星和英特尔同样离不开它。自2019年起,在美国施压之下,荷兰政府就明令禁止向中国出口这类设备。截至目前,全球共有314台EUV机器在运行,另有26台已退役,而据ASML自己整理并向华盛顿递交的文件显示,在中国的数量是零。
正因如此,卢特尼克此番警告的分量才如此之重。如果一台EUV机器真的进入了中国,那意味着整个管控体系最坚固的那道防线,可能已经出现了裂缝。
ASML强硬否认,但白宫"证据"成谜
面对美方指控,ASML态度强硬而一致:公司从未向中国出口过EUV光刻机,也从未向中国出口过任何专门为EUV设备设计的组件、模块或配套设备。
为了"证明一个不存在的事情",ASML甚至专门制作了一份名为《无任何迹象显示ASML EUV系统在中国》的文件,在华盛顿各方传阅。文件强调,ASML的系统能够自动检测任何连接中断或异常行为,而且由于EUV设备的专业搬运要求,客户根本无法在没有ASML人员参与的情况下擅自移动或转移设备。
然而,美方的立场同样强硬。多名高级官员在匿名条件下表示,他们掌握的证据表明ASML并非出于善意,其中包括向中国出口EUV专用运输设备以及其他相关零部件的记录。
问题在于,这些官员拒绝向外界提供任何证明材料,理由是"信息来源的敏感性"。更耐人寻味的是,他们也无法或不愿确认,中国境内是否真的存在一台完整的EUV设备。
美国政府一边声称掌握证据,一边又不愿采取惩罚性行动,逻辑上的矛盾本身,已经让这场指控的底气显得有些不足。
中国"自研EUV"的背景,让局势更加复杂
这一事件并非凭空而起。路透社2025年12月曾报道,中国在深圳一处高度机密设施内,借助多名前ASML工程师的力量,已经建造出了一台EUV光刻机原型,该项目被形容为中国的"曼哈顿计划"。报告显示,相关工程师的签约奖金高达42万至70万美元,原型机已能产生极紫外光,但尚未实现量产级别的芯片制造。
这一背景让华盛顿的神经绷得更紧。华为芯片业务负责人近期罕见地以英文公开发言,着重强调华为在没有EUV设备的条件下推动芯片创新的成就,这被外界解读为一种"我们不需要你"的姿态,但也间接说明,一旦能够接触到真实的ASML硬件,中国的追赶速度将大幅加快。
毕竟,读专利文献是一回事,拆解一台真机又是另一回事。
与此同时,美国国会在今年4月提出《MATCH法案》,要求对ASML、东京电子等盟国企业实施与美国本土企业相同级别的出口限制,并拟议对所有沉浸式DUV设备的对华出口实施全面禁令,这将令ASML失去预计占其2026年总收入约20%的中国市场份额。
ASML夹在美国的施压、欧盟的外交考量与中国这一巨大市场之间,处境可谓两面受困。而华盛顿此次以一台"可能存在"的EUV机器为由发难,无论证据是否充分,都已在全球芯片供应链的核心地带,投下了一颗真实的不确定性炸弹。


