设备生产有条不紊、机台调试精益求精、技术迭代有序展开……当下，中国电科所属烁科中科信正同步生产调试13台离子注入机，设备制造与工艺调试双管齐下，生产一线热火朝天。


离子注入机是芯片制造的关键装备。目前，烁科中科信自主研制出中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等多类型离子注入机，实现了我国芯片制造领域全系列离子注入机创新发展。2023年开年，设备订单总额突破2亿元，行业认可度持续攀升。

本贴由【金光洞主】于2023-03-01 21:47:37发表。该贴仅代表【金光洞主】个人观点。