据日经新闻11月6日报道，荷兰半导体设备供应商阿斯麦尔（ASML）供应极紫外光（EUV）光刻机给中芯国际的计划已经中止，多位ASML供应商关系人士指出，ASML是为了避免因供应最先进的设备给中国，担心刺激到美国，因此决定暂时中止交货。
据了解，中芯国际是在去年4月份向ASML订购了EUV光刻机，原定于2019年底交付，到2020年中期完成安装。
11月7日，针对以上报道，ASML公司官方做出了回应，内容如下：
关于日经新闻（NIKKEI）昨日报导，其标题和内容呈现造成误导，本公司在此提出澄清。
我司不对任何客户做comment。对于日经新闻报道的关于交货时程仅为其媒体推测，ASML从未评论或确认，因此，“延迟出货”仅为媒体推测。对其将推测直接定性为事实作为新闻标题并在文中阐述，表示抗议。
ASML一向在遵守相关国际法规的前提下一视同仁地服务全球客户。根据瓦圣纳协议，ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可（export license）。该出口许可于今年到期，ASML已经于到期前重新进行申请，目前正在等待荷兰政府核准。因此，关于“ASML决定延迟/终止出货”的说法是错误的，ASML系遵循法规行事。
对于此次传闻，中芯国际也做出了回应，该公司表示：
EUV还在纸面工作阶段，未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前，研发与生产的连结一切正常。客户与设备导入正常运作。
