光刻机不仅要能控制线宽,还要将此线和以前的5纳米的线对齐 |
送交者: redredred 2017月10月05日08:15:34 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
回 答: 画出5纳米宽的线是本,在此线内刻出一条槽是末。 由 redredred 于 2017-10-05 08:06:40 |
快速精准对齐是大规模生产的关键,一个小时至少处理20-30晶圆。每个晶圆有上百甚至数千芯片。 大规模生产才能降低成本,才能有竞争力,才能活下来 |
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