| 大刘的视频里说，euv光源早就有了，但功率差一个数量级。 |
| 送交者: 毕云涛 2025月01月08日05:13:45 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
| 回 答: 光刻机关键部件！哈工大13.5nm 极紫外光光源获一等奖绕过 ... 由 3脚猫 于 2025-01-08 00:15:12 |
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