版主:黑木崖
    
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光刻机的关键组件是光源部分。 机械部分可以仍旧用原整飢的西方
送交者: wada 2023月09月12日04:35:49 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话
回  答: 网上流传华为制造出自己优于ASML-DUV光刻机的方法: wada 于 2023-09-12 04:29:52

高精密部分,

所以这个流传的方法时可信的


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