版主:黑木崖
    
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批评得有理:中微蚀刻机正是等离子体“光”刻,吓死人了?
送交者: 大牙笑掉了 2018月04月22日16:14:05 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话
回  答: 蚀刻是用挖掘坑道出深度和坡度。在哪里开挖,坑道宽由光刻决定。 redredred 于 2018-04-22 08:13:51

我们需要一种不会拐弯的物质来腐蚀金属表面,这种东西是什么呢?答案是“光”。光是不会拐弯的,所以可以笔直地腐蚀金属表面。当然了,这里的“光”不是真的光,而是一种等离子体,通过等离子体来对金属表面(或者说对晶圆表面)进行蚀刻。为什么等离子可以腐蚀金属表面、怎么产生等离子的,这个不重要,我们只需要知道等离子蚀刻更好、可以用来制造更精密的芯片就行了。中微半导体研发成功并已量产的7nm蚀刻机、5nm蚀刻机,都是等离子体“光”蚀刻机。中微半导体现在又研发出美国都没有的4nm等离子体“光”蚀刻机。现在美国业界很担心,中国在芯片领域的进步将在中微半导体引领下,迅速弯道超车,成为继高铁、核电外,又一张中国的亮丽名片,这是现实。台湾东森“关键时刻”的大嘴刘寳桀,你爲什么闭嘴不敢发聲了?因为吓死你了。比如说下面这幅图,就可以很好地说明两种刻蚀方法的区别。

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  大陆掌握了晶圆“光刻”设计和工艺等于掌握高端晶圆制备。  /无内容 - 大牙笑掉了 04/22/18 (559)
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