江丰电子承担的国家科技重大专项项目通过正式验收 更新时间：2018-6-1 14:23:01   【

5月31日，由江丰电子主持的国家科技重大专项（02专项）“45-28nm配线用超高纯系列溅射靶材开发与产业化”项目（项目编号：2011ZX02705，以下简称“项目”）顺利通过国家02专项验收专家组的正式验收。 　

　 　　据披露，该项目中由江丰电子主要承担其中三项课题：1、45-28nm配线用Cu合金、Co、Ni、Ta的薄膜性能测试与分析（课题编号：2011ZX02705-001）；2、45-28nm配线用超高纯Ta、Cu合金、Co、Ni合金靶材开发与产业化（课题编号：2011ZX02705-002）；3、45-28nm配线用超高纯Cu阳极制备与产业化（课题编号：2011ZX02705-007）。 　

　 　　通过项目的实施，江丰电子在300毫米晶圆用45-28nm技术节点实现了超高纯金属溅射靶材、高纯Cu-P合金铜阳极产品的量产，并且建成了相关产品的分析检测平台。验证报告显示上述量产的产品经国际知名半导体客户认证，产品质量达到国际先进水平。 　

　 　　根据国家重大专项管理的相关规定，此次验收的项目为事前立项事后补助（预拨启动费）方式。在项目实施过程中，公司已经收到所承担课题及参与合作课题的政府补助资金人民币1,601.66万元，本次内部验收确认的实际执行金额为人民币4,427.16万元，根据“45-28nm配线用超高纯系列溅射靶材开发与产业化”项目的立项批复，项目正式验收通过后，公司预计可获得政府补助资金不超过人民币2,825.50万元。 　　

　　江丰电子表示，公司本次承担的国家重大专项课题的目标是促进我国电子材料产业的发展，形成我国半导体靶材从原材料到成品、再到最终使用客户的产业链，为我国正在建设的多家半导体芯片生产厂商的材料需求提供坚实保障。项目的顺利实施对公司未来发展也将产生积极影响。