中国做超精密加工研究和设备的主要4家，北京机床所、哈工大、国防科技大、航空303（航空精密机械所），还有230厂。

下面是303所的介绍。

北京航空精密机械研究所（单位简称：一航精密所，又名：303所）始建于1961年，系中国航空工业第一集团公司所属的综合性应用技术研究所，位于北京市丰台区南苑东路5号。研究所是航空机载设备制造技术研究开发中心，主要承担精密制造和精密检测技术及其设备的研制和开发。研究所占地面积约14万平方米，现有职工700余人，其中研究员、高级工程师150余人。研究所下设3个研究室、3个事业部、2个生产试制部、1个精密加工中心和1个高新技术开发公司。经过四十多年的发展，研究所已成为我国以精密、超精密加工技术著称的科研生产基地。目前，在超精密加工技术与设备、精密数控加工技术、数控三坐标测量机技术与设备、惯导测试与运动仿真技术与设备等技术领域处于国内领先或先进地位。所是国家首批授予进出口经营权的科研院所之一，并具有硕士学位授予权。

研究所在精密、超精密加工技术与设备，惯导测试与运动仿真技术与设备，数控三坐标测量机技术与设备，精密检测技术与设备，环境试验技术与设备，特种加工技术与设备，工艺过程自动化技术与设备，以及长度、角度传感器技术与设备等方面进行了大量卓有成效的研究开发工作。具有光学、激光、机械、电子自动控制、液压、测试和计算机应用等多专业的综合性技术开发能力，技术实力雄厚，工艺测试手段齐全。建所40多年来，科研成果获部级以上奖励200余项。研究所设有精密制造技术航空科技重点实验室、航空精密加工制造技术中心、北京国防计量站1016校准室，拥有近1000平方米的100级和10000级超洁净、恒温、恒湿实验室，拥有品类齐全的各类加工设备300多台，其中30余台是具有世界一流水平的超精密、精密数控加工设备，还配备有品种齐全的高精度检测设备。研究所擅长开发机电一体化高新技术产品，并通过了ISO9001-2000质量体系认证。

精密制造技术航空科技重点实验室的发展目标：成为精密制造技术的自主创新研究基地，提高应用基础研究及先期技术开发能力，为航空科技的发展和科研生产中的关键技术攻关提供技术支撑，为典型零件提供精密、超精密加工技术手段和方法。

实验室的主要研究方向：

1.精密制造技术理论、方法及机理研究；

2.精密测量、测试及控制技术研究；

3.航空微机械、微光学元件制造技术研究；

4.航空精密制造及测量、测试装备技术研究；

5.航空产品典型精密零件制造的适用研究。

实验室拥有包括8名研究员和4名博士在内的三十多人的研究队伍。多年来，自行研制了超精密加工设备11台，其中9台装备在了本实验室，分别是超精密车床、超精密镗床、超精密平面磨床、超精密外圆磨床、精密金刚石刀具研磨机、超精密平面研磨机、精密端齿盘研磨机、Nanosys-300非球面超精密复合加工机床、偶件超精密磨床。使本实验室初步具备了门类较齐全的超精密加工能力。实验室还拥有形位公差测量仪、粗糙度测量仪、激光干涉测量系统等14台测试设备仪器，还拥有恒温、恒湿、超净洁净间1080平米。因此，该实验室无论在超精密加工设备的种类、精度、环境保障条件还是自行研制的超精密加工设备的数量上均居国内领先地位。

CJY-500超精密研磨机

该机床主要应用于亚纳米级超光滑平面零件，中、小型精密平面零件的超精密研磨、抛光加工。此外，通过附加工装，还可扩充应用于球和圆柱零件的超精密研磨、抛光加工。

主要技术指标

加工工件平面度:0.03μm/50×50mm

工件表面粗糙度:Ra 0.0003μm[图片]COMM 超精密万能外（内）圆磨床

该机床主要应用于伺服、控制系统中轴、孔类零件的超精密加工，解决偶件类零件的互换性及可靠性。此外，还可应用于各种精密加工、测量系统中的精密轴系的超精密加工。

主要技术指标

最大加工工件尺寸:f250mm×500mm

工件圆度:0.1-0.3mm

加工工件圆柱度:0.5-1mm

加工工件表面粗糙度: Ra 0.02-0.005mm[图片]Nanosys-300非球面曲面超精密复合加工机床

该机床具有CNC单点金刚石超精密车、飞切（铣）、以及磨削等多种加工功能，可对金属、玻璃等各种材料的零件，进行球面、非球面、和超平面等形状的纳米级超精密镜面加工。

加工工件尺寸范围:Φ300×200mm

测量、控制系统分辨率:1.25-5nm

球面加工精度:0.3μm

加工工件表面粗糙度:Ra<10nm[图片][图片]超精密车床

该机床主要用于中小型零件的超精密车削加工。

技术指标

主轴精度:0.05μm-0.1μm

导轨直线度:0.05-0.1μm/25mm

加工圆度:0.05μm-0.15μm

加工表面粗糙度:Ra 0.01-0.02μm[图片]超精密镗床[图片]该机床主要用于孔型指标要求高的零件的超精密镗削加工。

主要技术指标

主轴精度:0.05μm-0.1μm

导轨直线度:0.05-0.1μm/25mm

加工圆度:0.05μm-0.15μm

加工表面粗糙度:Ra 0.01-0.02μm

以上指标，完全超过德国及日本同类加工水平，与美国最先进的加工能力持平。