| 画出5纳米宽的线是本，在此线内刻出一条槽是末。 |
| 送交者: redredred 2017月10月05日08:06:40 于 [世界军事论坛] 发送悄悄话 |
| 回 答: 因为上海中微的5纳米的等离子刻蚀机要开始正式销售了 由 3脚猫 于 2017-10-04 14:32:15 |
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刻蚀机专工于刻蚀，其品质以深度，沟槽坡度，平滑度，宽度误差在整个/批晶圆上的分布进行评判。 |
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