光刻机不仅有透镜系统（Euv用反射镜系），还有高速高精度对准，透镜形变校正，晶圆传送系统，喷，洗，烘，等等，组合在一起，才能满足产量和稳定性的要求。一台光刻机的体积几乎相当于一辆十八轮，但是一片晶圆厚不及一毫米，直径300毫米。